无尘、洁净室详细介绍
无尘室/洁净室就是车间经过空气净化后所形成的一个无灰尘的生产环境,等级可分为ISO 1- ISO 9级。无尘室/洁净室主要经过空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。 它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
一、气流流型的设计,应符合下列要求:
1 气流流型应满足空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级要求为 1~4 级时, 应采用垂直单向流;空气洁净度要求为 5 级时,应采用垂直单向流或水平单向流。
2 空气洁净度要求为 6~9 级时,宜采用非单向流。
3 洁净室工作区的气流分布应均匀。
4 洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺要求。
5 洁净室的送风量,应取下列三项中的 值:
1) 为保证空气洁净度等级的送风量。
2) 根据热、湿负荷计算确定的送风量。
3) 向洁净室内供给的新鲜空气量。
(一)单向流无尘室/洁净室(1-5级)
1-5级的洁净室,均采用单向流的气流送风方式,即洁净室内的气流在同一截面的任意一点,气流的方向和速度均保持一致,这样可以使清洁空气象“活塞”一样,将室内的尘埃粒子快速带走。
要实现“活塞”的效果,高效过滤器需要布满率在80%以上,才可实现单向流的气流送风方式。
(二)非单向流无尘室/洁净室(6-9万级)
6-9级无尘室/洁净室的气流送风方向和5级以上的洁净室不同,室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动的,伴有回流或涡流,它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气,将室内的污染逐渐排出,来实现净化。
不同的净化等级,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现的。
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