洁净室达到洁净度要求,需要满足的四个必要条件!
洁净室是一种特殊的环境,用于生产和研发需要高度洁净度的产品。为了确保洁净室达到洁净度要求,有四个必要条件需要满足。
1、保证送风洁净度符合要求
这取决于净化系统末级过滤器的性能和安装。根据洁净度要求,原则上低级别洁净室应选用低性能过滤器,而级别高的洁净室则应选用高性能过滤器。一般来说,100万级洁净室可选用高中效过滤器,低于1万级可选用亚或A类高过滤器,1万至100级可选用B类过滤器,100至1级可选用C类过滤器。
2、气流
洁净室的气流要求将干净的空气首先送到操作部位,以限制和减少对加工物的污染。在设计气流时,应考虑以下原则:尽量减少涡流,避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬,以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀,且其风速要满足工艺和卫生要求;当气流向回风口流动时,要使空气中的灰尘能尽快地带走;根据不同的洁净度要求,选择不同的送风和回风方式。
3、足够的通风换气量
根据不同的洁净度要求,当洁净室净高较高时,适当增加换气次数。其中,100万级洁净室的通风量是按照高中效净化系统考虑的,其余洁净室则按照高效净化系统考虑。当10万级洁净室的高效过滤器集中布置在机房或系统末端采用亚高效过滤器时,可适当提高换气次数10-20%。
4、维持一定的正压
维持一定的正压是保证洁净室不受或少受污染、以维持设计洁净度等级的必要条件之一。即便是负压洁净室,它也必须在与其洁净度级别相邻的房间或套间中维持一定的正压,才能保持洁净度。
洁净室正压值是指在门窗全部关闭的状态下,室内静压大于室外静压的数值。为了保证洁净室正压值,比较好将送风、回风和排风机进行联锁。在系统开启时,先启动送风机,再启动回风机和排风机;在系统关闭时,先关排风机,再关回风机和送风机,以防止洁净室在系统开启和关闭时受到污染。
只有在这些条件的共同作用下,洁净室才能够提供一个高度洁净的环境,满足生产和研发过程对洁净度的要求